【超声波加工】氧化铝陶瓷:微钻孔  

 

汉鼎的超声波加工模组应用在99%氧化铝陶瓷微钻孔加工,有效达到加工效率提升60%,并维持加工工件高质量(显微镜下目视无碎裂边或毛边)。


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氧化铝陶瓷(Al2O3)的高硬脆性材料特质为许多加工业者带来极大的挑战。尤其针对小孔的微钻孔特征,若没有适当控制钻削时的推力和扭矩,容易造成工件钻孔出现严重边缘脆性断裂(edge-cracks)及次表面裂纹(subsurface damage)。然而,氧化铝陶瓷良好的耐化学性及热稳定性,使它成为热门的半导体制程精密零件的材料之一。

除了氧化铝陶瓷之外,汉鼎的超声波辅助加工技术也能应用在许多硬脆性、难切削材料的精密加工上,例如石英玻璃(quartz glass)、碳化硅(silicon carbide,SiC)、钨钢(tungsten carbide)、钛合金(titanium alloy)、复合材料(composites)等。


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