Semiconductor G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica

🕜 Eficiencia de Mecanizado - 10 veces mayor | 📈 Calidad del Agujero - bien mantenido | ⚙️ Vida útil de la Herramienta - 5 veces más largo
  • Dificultades en el Mecanizado
  • Beneficios del Mecanizado Ultrasónico
  • Aplicación Industrial
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¿Qué hace que la Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica sea difícil de mecanizar?



La óxido de aluminio (alúmina, Al2O3) cerámica, también conocida como alúmina, es conocida por su buena dureza y resistencia, resistencia al desgaste, etc. Generalmente, cuanto mayor es la pureza, más robusto es el rendimiento químico y eléctrico que muestra.

Este material tiene muchas excelentes propiedades mecánicas y químicas que permiten una amplia gama de aplicaciones industriales. Por ejemplo, su gran resistencia química y estabilidad térmica lo han hecho ideal para componentes clave en el procesamiento de semiconductores, chucks para obleas, así como placas CMP.

Las principales dificultades en el mecanizado del óxido de aluminio residen en sus propiedades materiales de alta dureza y fragilidad. La mala calidad de los agujeros, incluidos los grandes bordes agrietados y los daños subsuperficiales, se han convertido en serios desafíos durante el proceso de micro-perforación.


 
 

☑️ G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica: Información de Mecanizado

 
    G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica: Información de Mecanizado     
  Material   Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica
  Característica   Φ0.5 x 3mm (agujeros ciegos)
  *relación de aspecto 6x
  Proceso   Micro-perforación  
  Portaherramienta Ultrasónicos          HSKE40-R01-06
  Proceso y Parámetros de Mecanizado Ultrasónico       S 10,000rpm_Nivel de potencia ultrasónica 10%
  Taladrado G83 hasta 0.6mm (F 8mm/min), y luego taladrado G81 hasta 3mm (F 10mm/min)     
  *tiempo de proceso: 30 seg/por agujero
  Herramienta   Union UDCMX 2050-050 Φ0.5 x 5mm CVD Broca de 2 flautas


 
Calidad de los agujeros en la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT
(Figura 1. Calidad de los agujeros en la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT)



 

La meta de HIT en la G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica


El objetivo es mejorar la eficiencia del mecanizado, manteniendo una excelente calidad de los agujeros y aumentando la vida útil de la herramienta.




 

Resultados de G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistido por ultrasonido de HIT

 

G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica: Eficiencia de Mecanizado

La eficiencia del mecanizado fue 10 veces mayor con la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT
(Figura 2. La eficiencia del mecanizado fue 10 veces mayor con la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT)



*Proceso y parámetros originales: S 10,000rpm_F 3mm/min_Q 0.1mm_G83
  • Con la tecnología ultrasónica de HIT, la micro-vibración de alta frecuencia en la dirección del eje Z ayudó a reducir la fuerza de corte.
  • Utilizando G81 como el principal proceso de taladrado, la velocidad de avance se pudo aumentar aún más (de F 3mm/min a F 8mm/min, y luego a F 10mm/min). La eficiencia fue 10 veces mayor, manteniendo bien la calidad de los agujeros.



 

Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica: Vida útil de la Herramienta

Se utilizó el módulo de mecanizado ultrasónico HIT HSK-E40 en la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica, lo que ayudó a reducir el desgaste de la herramienta
(Figura 3. Se utilizó el módulo de mecanizado ultrasónico HIT HSK-E40 en la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica, lo que ayudó a reducir el desgaste de la herramienta)



La vida útil de la herramienta fue 5 veces mayor con la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT
(Figura 4. La vida útil de la herramienta fue 5 veces mayor con la Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica asistida por ultrasonido de HIT)

 
  • El mecanismo de mecanizado asistido por ultrasonido permitió una evacuación más fácil de las virutas de corte (partículas cerámicas) bajo el proceso G81.
  • Bajo los mismos parámetros de mecanizado sin ultrasonido, la herramienta se rompió después de taladrar 2 agujeros. Con la tecnología ultrasónica de HIT, la herramienta pudo seguir taladrando después de terminar 10 agujeros. La vida útil de la herramienta fue entonces 5 veces más largo en comparación con la sin ultrasonido.




 

Logros Tecnológicos del Mecanizado Ultrasonido de HIT


🕜 Eficiencia de Mecanizado - 10 veces mayor
📈 Calidad del Agujeo - bien mantenido
⚙️ Vida útil de la Herramienta - 5 veces más largo

 

G81 Micro-Perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) Cerámica: Aplicación Industrial



La micro-perforación de Óxido de Aluminio (Al2O3) cerámica se aplica a menudo en la industria de Semiconductores, especialmente para cabezales de ducha cerámicos o E-chucks cerámicos como productos de fabricación de semiconductores utilizados en los procesos de grabado o de capas delgadas.


Este material tiene muchas propiedades mecánicas y químicas excelentes que permiten una amplia gama de aplicaciones industriales. Por ejemplo, su gran resistencia química y estabilidad térmica lo han hecho ideal para componentes clave en el procesamiento de semiconductores, chucks de obleas, así como placas CMP.

Las principales dificultades en el mecanizado del óxido de aluminio (alúmina, Al2O3) residen en sus propiedades materiales de alta dureza y fragilidad. La mala calidad de los agujeros, incluidos numerosos bordes con grietas y daños subsuperficiales, se han convertido en desafíos serios durante el proceso de micro-perforación.


¡Fue entonces cuando el Módulo de Mecanizado Ultrasónico de HIT vino a ayudar! HIT ofrece una solución integral en el mecanizado de materiales avanzados. Con la asistencia de la Tecnología de Mecanizado Ultrasónico de HIT, los clientes dejaron de preocuparse por la mala calidad de las piezas mientras intentaban acelerar el tiempo de procesamiento. La eficiencia del mecanizado puede mejorarse enormemente mientras se mejora tanto la calidad de los micro-agujeros como la estabilidad en la vida útil de la herramienta. ¡HIT asegura a sus clientes no solo cumplir con sus requisitos, sino también lograr resultados aún mejores!




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