Semiconductor Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda

🕜 Eficiencia de Mecanizado - 2 veces mayor y una tasa de eliminación de material casi 3 veces mayor | 📈 Calidad de la Pieza - 1.5 veces mejor | ⚙️ Gran Reducción en el Desgaste de la Herramienta
  • Dificultades en el Mecanizado
  • Beneficios del Mecanizado Ultrasónico
  • Aplicación Industrial
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¿Qué hace que el Vidrio de Cuarzo sea difícil de mecanizar?



El vidrio de cuarzo tiene una alta resistencia a la compresión, pero también muestra una gran dureza y fragilidad. Los defectos en la superficie pueden tener un impacto grave en su resistencia general.

En los equipos de proceso de grabado en semiconductores, los anillos de cuarzo se utilizan para asegurar la oblea, garantizando que esta permanezca fijada de manera estable al chuck electrostático (ESC, E-Chuck) durante el grabado en seco o húmedo. Debido al alto grado de contacto entre el anillo de cuarzo y la oblea, la rugosidad de la superficie del anillo interior está sujeta a estrictos requisitos. Una mala rugosidad en la superficie del anillo interior puede provocar una corrosión excesiva de la oblea por gases o líquidos químicos durante el proceso de grabado, afectando gravemente el rendimiento del producto.



 
 

☑️ Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda: Información de Mecanizado

 
    Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda: Información de Mecanizado     
  Material   Vidrio de Cuarzo
  Característica   Rectificado Lateral Ae 0.7mm _ Ap 8mm
 
*longitud de procesamiento 200mm
  Parámetros de Mecanizado   S 6,000rpm _ F 1,200mm/min _ Nivel de Potencia Ultrasónica 100%    
  Portaherramienta Ultrasónicos           HBT40-W01 Portaherramientas de Rueda de Rectificado 
  Herramienta   #120 Φ100mm-T15mm Rueda de rectificado de diamante con enlace metálico   


 

【NUEVO PRODUCTO - Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido HBT-40】para Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo




----  Como el Arma Secreta para Ingresar en la Cadena de Suministro de la Industria de Semiconductores  ----


🔹 Mejor aplicado en el rectificado grueso de materiales avanzados para semiconductores.
🔹 Eficiencia de Mecanizado General: 2 - 3 veces mayor
🔹 Tasa de Eliminación de Material: Más de 3 veces mayor
🔹 Gran reducción en los costos de producción y en el consumo de energía.



 

Especificación del Producto

Modelo   HBT40-W01-2010          
Frecuencia de Operación            20 ~ 32 kHz   
Velocidad Máxima del Husillo         24,000 rpm
Interfaz de la Herramienta   Bloqueo por Rosca
Enfriamiento a Través del Husillo         70 bar

 

El módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido de HIT HBT-40 se utilizó en el rectificado lateral de vidrio de cuarzo
(Figura 1. El módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido de HIT HBT-40 se utilizó en el rectificado lateral de vidrio de cuarzo)



 

La meta de HIT en el Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda


Con la asistencia de la tecnología de mecanizado asistido por ultrasonido de HIT y el nuevo producto - Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido, el objetivo es mejorar la eficiencia del mecanizado y la tasa de eliminación de material, manteniendo una excelente calidad de la pieza y una vida útil de la herramienta estable.




 

Resultados de Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda asistido por Ultrasonido de HIT

 

Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda: Eficiencia de Mecanizado

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la velocidad de avance puede aumentarse 2 veces más que los parámetros originales
(Figura 2. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la velocidad de avance puede aumentarse 2 veces más que los parámetros originales)


Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la profundidad radial de corte puede mejorarse aún más, lo que generó una tasa de eliminación de material casi 3 veces mayor
(Figura 3. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la profundidad radial de corte puede mejorarse aún más, lo que generó una tasa de eliminación de material casi 3 veces mayor)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado lateral de vidrio de cuarzo con el módulo de ultrasonido de HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de rectificado. Esto permitió aumentar la velocidad de avance 2 veces más, lo que redujo a la mitad el tiempo total de proceso (de 20 segundos a 10 segundos).
  • La profundidad radial de corte (Ae) puede mejorarse aún más manteniendo la calidad estable de la pieza. Esto permitió que la tasa de eliminación de material se incrementara casi 3 veces más.


Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la eficiencia general de mecanizado puede ser 2 veces mayor manteniendo la calidad estable de la pieza
(Figura 4. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, la eficiencia general de mecanizado puede ser 2 veces mayor manteniendo la calidad estable de la pieza)



 

Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda: Calidad de la Pieza

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, el tamaño de las grietas en los bordes puede ser menor que sin el uso de ultrasonido
(Figura 5. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, el tamaño de las grietas en los bordes puede ser menor que sin el uso de ultrasonido)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado lateral de vidrio de cuarzo con el módulo de ultrasonido de HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de rectificado.
  • Con una eficiencia 2 veces mayor, el tamaño de las grietas en los bordes se mantuvo estable (salida estable de la amplitud de vibración ultrasónica). Con los mismos parámetros, el tamaño de las grietas en los bordes fue aproximadamente 1.5 veces menor que sin ultrasonido.


Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, ayudó a reducir el tamaño de las grietas en los bordes, lo que resultó en una calidad de la pieza 1.5 veces mejor
(Figura 6. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, ayudó a reducir el tamaño de las grietas en los bordes, lo que resultó en una calidad de la pieza 1.5 veces mejor)



 

Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda: Vida útil de la Herramienta

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, ayudó a reducir considerablemente el desgaste de la herramienta en comparación con el uso sin ultrasonido
(Figura 7. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado por ultrasonido HBT-40, ayudó a reducir considerablemente el desgaste de la herramienta en comparación con el uso sin ultrasonido)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado lateral de vidrio de cuarzo con el módulo de ultrasonido de HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de rectificado.
  • Con una eficiencia 2 veces mayor, la superficie de la rueda solo mostró un desgaste leve manteniendo la calidad estable de la pieza. Sin embargo, con los mismos parámetros, la superficie de la rueda mostraba desprendimiento y opacamiento sin ultrasonido, lo que resultaba en una calidad inestable de la pieza.




 

Logros Tecnológicos del Mecanizado Ultrasonido de HIT en el Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con D100- Portaherramientas de Rueda


(con Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido de HIT)


🕜 Eficiencia de Mecanizado - 2 veces mayor y una tasa de eliminación de material casi 3 veces mayor
📈 Calidad de la Pieza -
1.5 veces mejor
⚙️ Gran Reducción en el Desgaste de la Herramienta


 

Rectificado Lateral de Vidrio de Cuarzo con Portaherramientas de Rueda en Aplicación Industrial



El rectificado lateral de vidrio de cuarzo se aplica en la industria de semiconductores, especialmente utilizado para el anillo de cuarzo (anillo de enfoque/cobertura).


El vidrio de cuarzo tiene excelentes propiedades de aislamiento eléctrico y es inerte frente a ataques de todo tipo de ácidos, incluso en concentraciones muy altas, excepto el ácido fluorhídrico. Este material presenta alta resistencia a la compresión, pero también muestra una elevada dureza y fragilidad. Los defectos en la superficie pueden tener un impacto grave en su resistencia general.

En los equipos de proceso de grabado en semiconductores, los anillos de cuarzo se utilizan para asegurar la oblea, garantizando que esta permanezca fijada de forma estable al chuck electrostático (ESC, E-Chuck) durante el grabado en seco o en húmedo. Debido al alto grado de contacto entre el anillo de cuarzo y la oblea, la rugosidad de la superficie del anillo interior está sujeta a estrictos requisitos. Una pobre rugosidad en la superficie del anillo interior puede llevar a una corrosión excesiva de la oblea por gases o líquidos químicos durante el proceso de grabado, afectando gravemente el rendimiento del producto.


¡Fue entonces cuando el Módulo de Mecanizado por Ultrasonido de HIT vino al rescate! HIT ofrece una solución integral en el mecanizado de materiales avanzados. Con la asistencia de la Tecnología de Mecanizado por Ultrasonido de HIT y el Portaherramientas de Rueda de Rectificado Ultrasónico de HIT, los clientes dejaron de preocuparse por la baja calidad de las piezas mientras intentaban acelerar el tiempo de proceso. La eficiencia en el mecanizado y la tasa de eliminación de material pueden mejorar mientras que el desgaste de la herramienta se reduce considerablemente. HIT asegura a sus clientes no solo cumplir con sus requisitos, sino también alcanzar resultados aún mejores.




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