Semiconductor Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC)

🕜 Eficiencia de Mecanizado - 2.5 veces mayor | 📈 Calidad del Agujero - 1.8 veces mejor | ⚙️ Desgaste de la Herramienta - 3.2 veces menor
  • Dificultades en el Mecanizado
  • Beneficios del Mecanizado Ultrasónico
  • Aplicación Industrial
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¿Qué hace que el Carburo de Silicio (SiC) sea difícil de mecanizar?



El carburo de silicio (SiC) posee una excelente estabilidad química y mecánica, junto con resistencia a altas temperaturas y choques térmicos, lo que lo convierte en un material ideal para productos de fabricación de semiconductores como sustratos y duchas de SiC

Sin embargo, debido a su alta dureza y fragilidad, el riesgo en el rectificado o perforado de SiC radica en obtener agujeros con baja calidad superficial y grietas grandes en los bordes.  Si la fuerza de corte no se controla adecuadamente y existe una deficiente evacuación de partículas cerámicas, tanto la calidad del agujero como la vida de la herramienta se ven gravemente afectadas.


 
 

☑️ Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Información de Mecanizado

 
    Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Información de Mecanizado
  Material   Carburo de Silicio (SiC sinterizado)
  *Dureza del Material HV2800
  *Sujeción de la pieza: cera sobre material de aluminio
  Característica   Φ0.4 x 4mm (agujeros ciegos)
  
*relación de aspecto 10 veces
  Proceso   Micro-Perforación  
  Portaherramienta Ultrasónicos            HSKE40-R02-06
  Proceso y Parámetros de Mecanizado Ultrasónico      Nivel de potencia ultrasónica 10%
  [Proceso de Perforación Piloto] 

  S 8,000rpm _ F 1mm/min _ G83 _ Q 0.01mm _ Profundidad de perforación 0.5mm
   
  Nivel de potencia ultrasónica 10%
  [Proceso de Perforación Principal]

  S 8,000rpm _ F 1mm/min _ G83 _ Q 0.04mm _ Profundidad de perforación 4mm
  
  *Tiempo de Proceso por agujero: 7.2 minuto
  Herramienta   OSG MXD Φ0.4mm PCD broca


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El módulo de mecanizado ultrasónico HIT HSKE40 se utilizó para optimizar el proceso de microperforación de carburo de silicio con broca PCD
(Figura 1. El módulo de mecanizado ultrasónico HIT HSKE40 se utilizó para optimizar el proceso de microperforación de carburo de silicio con broca PCD)


 

Objetivo de HIT en la Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC)


El objetivo es analizar cómo el módulo ultrasónico HIT HSKE40 puede optimizar el proceso de microperforación de carburo de silicio (SiC sinterizado) con broca PCD, mejorando la eficiencia, la calidad del agujero y la vida útil de la herramienta.



 

Micro-Perforación Asistido por Ultrasonido de Carburo de Silicio (SiC): Resultados de Mecanizado

 

Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Eficiencia de Mecanizado

Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, el ultrasonido debe estar activado durante el proceso de perforación piloto
(Figura 2. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, el ultrasonido debe estar activado durante el proceso de perforación piloto)


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, el valor Q en el proceso de perforación principal puede ser 4 veces mayor, logrando un aumento en la eficiencia total de mecanizado

(Figura 3. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, el valor Q en el proceso de perforación principal puede ser 4 veces mayor, logrando un aumento en la eficiencia total de mecanizado)

 
  • Para optimizar el proceso de microperforación de SiC sinterizado con broca PCD y el módulo ultrasónico HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de perforación.
  • Esto permitió aumentar el volumen del ciclo de perforación (Q) en el proceso principal 4 veces más (de 0.01 a 0.04 mm), lo que resultó en una eficiencia de mecanizado total 2.5 veces mayor (reduciendo el tiempo de proceso de 18.3 a 7.2 minutos por agujero).


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, se reduce el tiempo de proceso por agujero, logrando 2.5 veces mayor eficiencia
(Figura 4. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40 en la microperforación de SiC, se reduce el tiempo de proceso por agujero, logrando 2.5 veces mayor eficiencia)


 

Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Calidad del Agujero

Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño de las grietas en los bordes fue menor con los parámetros optimizados
(Figura 5. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño de las grietas en los bordes fue menor con los parámetros optimizados)


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño de las grietas en cada agujero fue inferior a 5µm
(Figura 6. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño de las grietas en cada agujero fue inferior a 5µm)

 
  • Con el uso de ultrasonido HIT, la reducción de la fuerza de perforación ayudó a estabilizar el proceso de perforación.
  • A una eficiencia 2.5 veces mayor, el tamaño promedio de las grietas se mantuvo bajo control y fue 1.8 veces menor que sin ultrasonido bajo los mismos parámetros optimizados.


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño promedio de las grietas fue menor, logrando 1.8 veces mejor calidad del agujero
(Figura 7. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el tamaño promedio de las grietas fue menor, logrando 1.8 veces mejor calidad del agujero)


 

Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Desgaste de la Herramienta

Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el desgaste de herramienta en el filo del cincel fue mucho menor que sin ultrasonido
(Figura 8. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el desgaste de herramienta en el filo del cincel fue mucho menor que sin ultrasonido)


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, la acumulación de partículas cerámicas en la cara de ataque fue menor que sin ultrasonido
(Figura 9. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, la acumulación de partículas cerámicas en la cara de ataque fue menor que sin ultrasonido)


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, la acumulación de partículas en la cara de alivio también fue menor
(Figura 10. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, la acumulación de partículas en la cara de alivio también fue menor)


Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el ancho de desgaste del flanco (VB) después de cada agujero fue más pequeño que sin ultrasonido
(Figura 11. Con el módulo ultrasónico HIT HSKE40, el ancho de desgaste del flanco (VB) después de cada agujero fue más pequeño que sin ultrasonido)

 
  • Gracias al ultrasonido HIT, la microvibración de alta frecuencia permitió un flujo más eficiente del fluido de corte, lo que mejoró la evacuación de partículas cerámicas.
  • Junto con la reducción de la fuerza de perforación, el desgaste de la herramienta fue 3.2 veces menor que sin ultrasonido bajo las mismas condiciones optimizadas.



 

Logros de la Tecnología de Mecanizado Ultrasónico de HIT en la Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC)



🕜 Eficiencia de Mecanizado - 2.5 veces mayor con valor Q 4 veces superior (perforación intermitente)
📈 Calidad del Agujero -
1.8 veces mejor con menos grietas en los bordes
⚙️ Desgaste de la Herramienta -
3.2 veces menor gracias a mejor evacuación de partículas cerámicas y menor fuerza de corte




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Micro-Perforación de Carburo de Silicio (SiC): Aplicación Industrial



Micro-perforación de carburo de silicio (SiC sinterizado) se aplica con frecuencia en la industria de semiconductores, especialmente para componentes clave como duchas de SiC (showerheads) y portadores de obleas de SiC, utilizados en procesos de grabado (etching) o películas delgadas.


El SiC (carburo de silicio) tiene una dureza Mohs de 9, lo que lo convierte en un material excepcional para componentes mecánicos de alta precisión.

Este material presenta excelente estabilidad química y mecánica, junto con resistencia a altas temperaturas y choques térmicos, lo que también lo hace ideal para productos utilizados en la fabricación de semiconductores, como sustratos, duchas (showerheads), portadores de obleas y E-chucks de SiC.

Sin embargo, debido a la alta dureza y fragilidad del carburo de silicio, el mecanizado del SiC conlleva el riesgo de obtener agujeros de baja calidad, con grietas en los bordes de gran tamaño y vida útil reducida de la herramienta.


Ahí es donde entra en juego el Módulo de Mecanizado Ultrasónico de HIT.  HIT ofrece una solución integral para el mecanizado de materiales avanzados.  Con la asistencia de la tecnología de mecanizado ultrasónico de HIT, los clientes dejaron de preocuparse por la mala calidad del agujero o la vida útil de la herramienta, al mismo tiempo que lograron acortar el tiempo de proceso.  Tanto la eficiencia como la vida útil de la herramienta pueden mejorarse significativamente, mientras se mejora la calidad de perforación.  HIT garantiza a sus clientes no solo cumplir con sus requisitos, sino superar sus expectativas.



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