Semiconductor Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda

🕜 Carga del Husillo - 2.3 veces menor, reflejando una reducción en la fuerza de rectificado | 📈 Calidad Superficial - 1.6 veces mejor, y sin marcas de herramienta | ⚙️ Gran Reducción en el Desgaste de la Herramienta
  • Dificultades en el Mecanizado
  • Beneficios del Mecanizado Ultrasónico
  • Aplicación Industrial
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¿Qué hace que el Carburo de Silicio (SiC) sea difícil de mecanizar?



El Carburo de Silicio (SiC) tiene una dureza de 9 en la escala de Mohs, lo que lo convierte en una opción excepcional para componentes mecánicos de alta precisión.

Este material posee una excelente estabilidad química y mecánica, junto con resistencia a altas temperaturas y a los choques térmicos, lo que lo hace ideal para productos de fabricación de semiconductores, como sustratos de SiC, susceptores de obleas de SiC, portadores de obleas de SiC, chucks electrostáticos de SiC, entre otros.

Sin embargo, debido a la alta dureza y fragilidad del carburo de silicio, el riesgo del rectificado superficial de SiC radica en una mala calidad de la superficie, con una rugosidad superficial deficiente y numerosas marcas de herramienta. Si la fuerza de rectificado no se controla adecuadamente (debido a la acumulación significativa de partículas de material cerámico adheridas a la superficie de la rueda) durante el proceso, puede provocar un desgaste grave de la herramienta y una baja calidad de la pieza de trabajo.


 
 

☑️ Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda: Información de Mecanizado

 
    Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda: Información de Mecanizado
  Material   Carburo de Silicio (SiC)
  Característica   Rectificado Superficial Ae 10mm _ Ap 0.08mm
  Parámetros de Mecanizado   S 3,000rpm _ F 300mm/min _ Nivel de Potencia Ultrasónica 100%    
  Portaherramienta Ultrasónicos           HBT40-W01 Portaherramientas de Rueda de Rectificado 
  Herramienta   #400 Φ100mm-T40mm Rueda de rectificado de diamante con enlace metálico    
 
 

【NUEVO PRODUCTO - Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido HBT-40】para Rectificado Superficial de Carburo de Silicio (SiC)




----  Como el Arma Secreta para Ingresar en la Cadena de Suministro de la Industria de Semiconductores  ----


🔹 Mejor aplicado en el rectificado grueso de materiales avanzados para semiconductores.
🔹 Eficiencia de Mecanizado General: 2 - 3 veces mayor
🔹 Tasa de Eliminación de Material: Más de 3 veces mayor
🔹 Gran reducción en los costos de producción y en el consumo de energía.


 

Especificación del Producto

Modelo   HBT40-W01-2010          
Frecuencia de Operación            20 ~ 32 kHz   
Velocidad Máxima del Husillo         24,000 rpm
Interfaz de la Herramienta   Bloqueo por Rosca
Enfriamiento a Través del Husillo         70 bar

 
El módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HIT HBT-40 se utilizó en el rectificado superficial de cerámica de carburo de silicio
(Figura 1. El módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HIT HBT-40 se utilizó en el rectificado superficial de cerámica de carburo de silicio)



 

La meta de HIT en el Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda


Con la ayuda de la tecnología de mecanizado asistido por ultrasonido de HIT y el nuevo producto Portaherramientas de Rueda de Rectificado Ultrasónico, el objetivo es mejorar la calidad de las piezas de trabajo y la vida útil de la herramienta.




 

Resultados de Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda asistido por Ultrasonido de HIT

 

Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda: Eficiencia de Mecanizado

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, no solo mejoró la calidad superficial de la pieza de trabajo, sino que también redujo la carga del husillo
(Figura 2. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, no solo mejoró la calidad superficial de la pieza de trabajo, sino que también redujo la carga del husillo)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado superficial de carburo de silicio (SiC) con el módulo ultrasónico de HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de rectificado.
  • La carga del husillo fue 2.3 veces menor (del 30% al 13%), lo que refleja una reducción en la fuerza de rectificado.


Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, la carga del husillo fue 2.3 veces menor, lo que refleja una reducción en la fuerza de rectificado
(Figura 3. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, la carga del husillo fue 2.3 veces menor, lo que refleja una reducción en la fuerza de rectificado)



 

Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda: Calidad Superficial

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, ayudó a eliminar las marcas de herramienta en la superficie de la pieza de trabajo
(Figura 4. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, ayudó a eliminar las marcas de herramienta en la superficie de la pieza de trabajo)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado superficial de carburo de silicio (SiC) con el módulo ultrasónico de HIT, la microvibración de alta frecuencia ayudó a reducir la fuerza de rectificado. Esto se puede observar en la disminución de la carga del husillo.
  • Además de una rugosidad superficial promedio (Sa) 1.6 veces menor, la calidad superficial general mejoró, sin marcas de herramienta en la superficie.


Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, la rugosidad superficial promedio mejoró, logrando una calidad superficial 1.6 veces mejor
(Figura 5. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, la rugosidad superficial promedio mejoró, logrando una calidad superficial 1.6 veces mejor)



 

Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda: Vida útil de la Herramienta

Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, se pudo reducir significativamente el desgaste de la herramienta en comparación con el proceso sin ultrasonido
(Figura 6. Con el nuevo producto de HIT, el módulo de portaherramientas de rueda de rectificado ultrasónico HBT-40, en el rectificado superficial de carburo de silicio, se pudo reducir significativamente el desgaste de la herramienta en comparación con el proceso sin ultrasonido)

 
  • Para optimizar el proceso de rectificado superficial de carburo de silicio (SiC) con el módulo ultrasónico de HIT, la reducción en la fuerza de rectificado no solo resultó en una carga del husillo mucho menor y una calidad superficial mejorada, sino que también ayudó a reducir el calor de corte, prolongando la capacidad de rectificado de la rueda.
  • La microvibración de alta frecuencia del ultrasonido también proporcionó un mejor mecanismo de eliminación de partículas cerámicas. Como resultado, las partículas cerámicas solo se adhirieron parcialmente a la superficie de la rueda.




 

Logros Tecnológicos del Mecanizado Ultrasonido de HIT en el Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con D100- Portaherramientas de Rueda


(con Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido de HIT)


🕜 Carga del Husillo - 2.3 veces menor, reflejando una reducción en la fuerza de rectificado
📈 Calidad Superficial - 1.6 veces mejor, y sin marcas de herramienta
⚙️ Gran Reducción en el Desgaste de la Herramienta


 

Rectificado Superficial de Carburo de Silicio con Portaherramientas de Rueda en Aplicación Industrial



El Rectificado Superficial de Carburo de Silicio se aplica en la industria de semiconductores, especialmente para la fabricación de chucks electrostáticos (E-chuck, ESC), susceptores de obleas, entre otros.


El Carburo de Silicio (SiC) tiene una dureza de 9 en la escala de Mohs, lo que lo convierte en una opción excepcional para componentes mecánicos de alta precisión.

Este material posee una excelente estabilidad química y mecánica, junto con resistencia a altas temperaturas y a los choques térmicos, lo que lo hace ideal para productos de fabricación de semiconductores, como sustratos de SiC, susceptores de obleas de SiC, portadores de obleas de SiC, chucks electrostáticos de SiC, entre otros.

Dentro de la cámara del reactor MOCVD, los susceptores de obleas de SiC se utilizan para soportar los sustratos. Los susceptores absorben energía térmica para facilitar el crecimiento de películas. Por lo tanto, la calidad de los susceptores tiene un impacto directo en la calidad de la capa epitaxial del semiconductor.


¡Fue entonces cuando el Módulo de Mecanizado por Ultrasonido de HIT vino al rescate! HIT ofrece una solución integral para el maquinado de materiales avanzados. Con la asistencia de la Tecnología de Mecanizado por Ultrasonido de HIT y el Portaherramientas de Rueda de Rectificado Ultrasónico de HIT, los clientes dejaron de preocuparse por la baja calidad de las piezas de trabajo y la corta vida útil de las herramientas. La calidad de la superficie se puede mejorar significativamente, mientras que el desgaste de la herramienta se reduce considerablemente.




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