Semiconductor Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo

🕜 Tasa de Eliminación de Material - 164 veces mayor
  • Dificultades en el Mecanizado
  • Beneficios del Mecanizado Ultrasónico
  • Aplicación Industrial
  • Volver a la Lista

¿Qué hace que el Vidrio de Cuarzo sea difícil de mecanizar?



El vidrio de cuarzo tiene un bajo coeficiente de expansión térmica y alta resistencia al calor, lo que le permite mantener la estabilidad del material incluso en entornos con cambios bruscos de temperatura. Además, posee propiedades químicas extremadamente estables, lo que lo convierte en un material resistente a los ácidos, incluso a productos químicos altamente concentrados. Tiene una alta resistencia a la compresión, pero también muestra alta dureza y fragilidad. En el grabado de semiconductores, los anillos de cuarzo fijan las obleas sobre el E-Chuck, tanto en grabado seco como húmedo.

Desde el punto de vista del mecanizado CNC, el cálculo de la ruta de programación con coordenadas polares de 4 ejes es más complejo que con coordenadas cartesianas, lo que implica mayores tiempos de generación de programas CAM. Además, en el rectificado de coordenadas polares de 4 ejes, hay variaciones en la velocidad de corte (debido a las diferencias de velocidad lineal entre regiones radiales), lo que requiere ajustes de compensación constantes y aumenta la complejidad del programa NC y su tiempo de cálculo. A la vez, para evitar grietas térmicas y desconchados, los parámetros de corte se deben limitar, lo cual dificulta aumentar la velocidad de mecanizado. Por ello, el mecanizado de anillos de cuarzo resulta sumamente lento.

 
 

☑️ Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo: Información de Mecanizado

 
    Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo: Información de Mecanizado
  Material   Vidrio de Cuarzo
  Característica   (Programación con Coordenadas Polares) Rectificado Lateral
  Portaherramienta Ultrasónicos           HBT40-W01 Portaherramientas de Rueda de Rectificado
  Herramienta   #200 Φ80mm Rueda de rectificado de diamante con enlace metálico   
 

【NUEVO PRODUCTO - Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido HBT-40】para Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo




----  Como el Arma Secreta para Ingresar en la Cadena de Suministro de la Industria de Semiconductores  ----


🔹 Mejor aplicado en el rectificado grueso de materiales avanzados para semiconductores.
🔹 Eficiencia de Mecanizado General: 2 - 3 veces mayor
🔹 Tasa de Eliminación de Material: Más de 3 veces mayor
🔹 Gran reducción en los costos de producción y en el consumo de energía.

 

Especificación del Producto

Modelo   HBT40-W01-2010          
Frecuencia de Operación            20 ~ 32 kHz   
Velocidad Máxima del Husillo         24,000 rpm
Interfaz de la Herramienta   Bloqueo por Rosca
Enfriamiento a Través del Husillo         70 bar



📣 ¡Le damos la bienvenida al stand Q5344 de HIT en SEMICON Taiwan 2025 para conocer más sobre nuestros productos de mecanizado por ultrasonido!


 
El portaherramientas de muela ultrasónica HIT HBT-40 se utilizó para el rectificado lateral con programación en coordenadas polares del vidrio de cuarzo
(Figura 1. El portaherramientas de muela ultrasónica HIT HBT-40 se utilizó para el rectificado lateral con programación en coordenadas polares del vidrio de cuarzo)



 

La meta de HIT en el Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo


En el proceso de rectificado asistido por ultrasonido sobre vidrio de cuarzo, el objetivo es usar una máquina CNC de cuatro ejes con control de coordenadas polares de la mesa rotatoria, combinada con el portaherramientas de rueda ultrasónica HIT (utilizando muelas abrasivas de diamante con unión metálica), para llevar a cabo procesos de rectificado lateral - desbaste. La meta es aumentar la tasa general de eliminación de material mientras se mantiene estable la calidad de la pieza.



 

Resultados de Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo asistido por Ultrasonido de HIT

 

Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo: Tasa de Eliminación de Material

Usar el portaherramientas ultrasónico HIT HBT-40 en el rectificado lateral con programación en coordenadas polares del vidrio de cuarzo proporciona mayor margen para optimizar parámetros
(Figura 2. Usar el portaherramientas ultrasónico HIT HBT-40 en el rectificado lateral con programación en coordenadas polares del vidrio de cuarzo proporciona mayor margen para optimizar parámetros)


Usar el portaherramientas ultrasónico HIT HBT-40 en el rectificado lateral con coordenadas polares del vidrio de cuarzo logró una tasa de eliminación de material 164 veces mayor comparado con el proceso original
(Figura 3. Usar el portaherramientas ultrasónico HIT HBT-40 en el rectificado lateral con coordenadas polares del vidrio de cuarzo logró una tasa de eliminación de material 164 veces mayor comparado con el proceso original)

 
  • Las coordenadas polares se emplean en operaciones con geometrías complejas y movimientos rotacionales. Al usarlas para controlar la mesa rotativa CNC, la pieza puede girar sobre su eje central, permitiendo un mecanizado más preciso, eficiente y con mayor tasa de eliminación de material.
  • La tecnología ultrasónica introduce microvibraciones de alta frecuencia. Estos impactos intermitentes sobre la pieza generan espacios para refrigeración de la rueda y evacuación de virutas, lo que reduce la fuerza de rectificado.
  • Gracias a esta reducción en la fuerza de rectificado, se logró una mejora impresionante de 164 veces en la tasa de eliminación de material.



 

Logros Tecnológicos del Mecanizado Ultrasonido de HIT en el Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo


(con Portaherramientas de Rueda de Rectificado por Ultrasonido de HIT)


🕜 Tasa de Eliminación de Material - 164 veces mayor



📣 ¡Le damos la bienvenida al stand Q5344 de HIT en SEMICON Taiwan 2025 para conocer más sobre nuestros productos de mecanizado por ultrasonido!

Rectificado Lateral (con Coordenadas Polares) de Vidrio de Cuarzo: Aplicaciones Industriales



Rectificado lateral del vidrio de cuarzo se aplica en la industria de los semiconductores, especialmente para el anillo de cuarzo (anillo de enfoque/cobertura).


El vidrio de cuarzo posee excelentes propiedades de aislamiento eléctrico y es inerte frente a los ataques de todo tipo de ácidos, incluso en concentraciones muy altas, excepto el ácido fluorhídrico. Este material tiene una alta resistencia a la compresión, pero también presenta gran dureza y fragilidad. Los defectos en la superficie pueden afectar seriamente su resistencia estructural global.

En los equipos de proceso de grabado de semiconductores, los anillos de cuarzo se utilizan para fijar las obleas, garantizando que permanezcan firmemente adsorbidas al chuck electrostático (E-Chuck) durante procesos de grabado en seco o húmedo. Dado el contacto cercano entre el anillo de cuarzo y la oblea, existen altos requerimientos de rugosidad superficial en la cara interna del anillo. Una mala rugosidad superficial interna puede provocar que la oblea sufra una corrosión excesiva por los gases o líquidos químicos durante el grabado, lo cual afecta gravemente al rendimiento del producto. No obstante, debido a que este material es muy duro y frágil, los parámetros de corte deben restringirse para evitar grietas y desconchados.


¡Ahí es donde entra en acción el Módulo de Mecanizado Ultrasónico de HIT! HIT ofrece una solución integral para el mecanizado de materiales avanzados. Con el apoyo de la Tecnología de Mecanizado Ultrasónico de HIT y su portaherramientas de muela ultrasónica, los clientes dejaron de preocuparse por la baja calidad de las piezas mientras intentaban acelerar los tiempos de producción. La eficiencia del mecanizado / tasa de eliminación de material puede mejorarse considerablemente, manteniendo al mismo tiempo una calidad estable de las piezas. HIT asegura no solo cumplir con los requisitos del cliente, ¡sino también superarlos!



💡 Aprenda más sobre los estudios de caso de mecanizado asistido por ultrasonido de cerámica técnica de HIT: 


📣 ¡Le damos la bienvenida al stand Q5344 de HIT en SEMICON Taiwan 2025 para conocer más sobre nuestros productos de mecanizado por ultrasonido!