Halbleiter G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik

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Was macht Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik schwer zu bearbeiten?

Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik ist bekannt für seine gute Härte und Festigkeit, Verschleißfestigkeit usw. Im Allgemeinen gilt: Je höher die Reinheit, desto robuster sind die chemischen und elektrischen Eigenschaften. 

Dieses Material verfügt über zahlreiche ausgezeichnete mechanische und chemische Eigenschaften, die eine breite Palette industrieller Anwendungen ermöglichen. Beispielsweise machen seine hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität es ideal für Schlüsselkomponenten in der Halbleiterverarbeitung, Wafer-Chucks sowie CMP-Platten.

Die größten Schwierigkeiten bei der Bearbeitung von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik liegen in den Materialeigenschaften von hoher Härte und Sprödigkeit. Schlechte Bohrungsqualität, einschließlich massiver Kantenrisse und Schäden unter der Oberfläche, stellen ernsthafte Herausforderungen während des Mikrobohrprozesses dar.

 

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☑️ G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Bearbeitungsinformationen

 

	G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik: Bearbeitungsinformationen
Material	Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik
Merkmale (Abmessungen)	Φ0,5 x 3mm (blinde Löcher)   *Seitenverhältnis 6x
Prozess	Mikrobohren
Werkzeughalter Ultraschall	HSKE40-R01-06
Bearbeitungsparameter	S 10.000min-1_Ultraschallleistungspegel 10%   G83 Bohren bis 0,6mm (F 8mm/min), und dann G81 Bohren bis 3mm (F 10mm/min)   *Prozesszeit: 30 Sekunden pro Loch
Werkzeug	Union UDCMX 2050-050 Φ0.5 x 5mm CVD 2-schneidiger Bohrer

 

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(Bild 1. Lochqualität des HIT-ultraschallunterstützten G81-Mikrobohrens von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik)



 

HITs Ziel beim G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik

Das Ziel ist es, die Bearbeitungseffizienz zu steigern, während eine hohe Lochqualität beibehalten und die Werkzeugstandzeit erhöht wird.




 

Ergebnisse des Ultraschallunterstützten G81 Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik

 

G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Bearbeitungseffizienz

(Bild 2. Die Bearbeitungseffizienz war 10-mal höher mit HIT-ultraschallunterstütztem G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik)


*Ursprünglicher Prozess und Parameter: S 10.000min^-1_F 3mm/min_Q 0,1mm_G83

• Mit HIT Ultraschall half die Hochfrequenz-Mikrovibration in Z-Richtung, die Schnittkraft zu reduzieren.
• Durch die Verwendung von G81 als Hauptbohrprozess kann die Vorschubrate weiter erhöht werden (von F 3mm/min auf F 8mm/min und dann auf F 10mm/min). Die Effizienz war 10-mal höher bei gut erhaltener Lochqualität.

 

G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Werkzeug Lebensdauer

(Bild 3. Das HIT HSK-E40 Ultraschallbearbeitungsmodul wurde beim G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik eingesetzt, was den Werkzeugverschleiß reduzierte)




(Bild 4. Die Werkzeugstandzeit war 5-mal länger mit HIT-ultraschallunterstütztem G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik)

 

• Der ultraschallunterstützte Bearbeitungsmechanismus ermöglichte eine einfachere Evakuierung der Schneidspäne (Keramikpartikel) im G81-Prozess.
• Unter den gleichen Bearbeitungsparametern ohne Ultraschall kam es nach dem Bohren von 2 Löchern zum Werkzeugbruch. Mit HIT Ultraschall konnte das Werkzeug nach dem Bohren von 10 Löchern weiterbohren. Die Werkzeugstandzeit war somit 5-mal länger im Vergleich zu der ohne Ultraschall.

 

Errungenschaften der HIT-Ultraschall Bearbeitungs Technologie

🕜 Bearbeitungseffizienz - 10-mal höher
📈 Lochqualität - Gut erhalten
⚙️ Werkzeug Lebensdauer - 5-mal länger

 

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G81-Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Branchenanwendung

Mikrobohren von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik wird häufig in der Halbleiter industrie angewendet, insbesondere für keramische Duschköpfe oder keramische E-Chucks, die als Halbleiterfertigungskomponenten in Ätz- oder Dünnschichtprozessen verwendet werden.


Dieses Material verfügt über zahlreiche ausgezeichnete mechanische und chemische Eigenschaften, die eine breite Palette industrieller Anwendungen ermöglichen. Beispielsweise machen seine hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität es ideal für Schlüsselkomponenten in der Halbleiterverarbeitung, Wafer-Chucks sowie CMP-Platten.

Die größten Schwierigkeiten bei der Bearbeitung von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik liegen in den Materialeigenschaften von hoher Härte und Sprödigkeit. Schlechte Bohrungsqualität, einschließlich massiver Kantenrisse und Schäden unter der Oberfläche, stellen ernsthafte Herausforderungen während des Mikrobohrprozesses dar.


An dieser Stelle kam das Ultraschall Bearbeitungs Modul von HIT zur Hilfe! HIT bietet eine umfassende Lösung für die Bearbeitung fortschrittlicher Materialien. Mit der Unterstützung der Ultraschall Bearbeitungs Technologie von HIT müssen sich die Kunden keine Sorgen mehr um schlechte Bohrungsqualität machen, während sie versuchen, die Prozesszeit zu verkürzen. Die Bearbeitungseffizienz kann erheblich gesteigert werden, während sowohl die Mikrobohrungsqualität als auch die Stabilität der Werkzeuglebensdauer verbessert werden. HIT versichert seinen Kunden nicht nur, ihre Anforderungen zu erfüllen, sondern auch noch bessere Ergebnisse zu erzielen!




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