超音波加工ツールホルダ - 研削砥石シリーズ 研削砥石ツールホルダ HBT-30

研削砥石シリーズ
♦ 半導体製造装置で使用されるリング状の部品（例：クォーツ/フォーカスリング、炭化ケイ素ウェーハキャリア/サセプター）の製造に特に適したCNC研削プロセスに適用
♦ 高い加工効率と材料除去率
♦ バランス品質グレードG2.5
♦ 高精度のランナウト＜5μm
♦ 両面拘束テーパー
♦ ねじロック式ツールインターフェース

製品情報



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