
(図1. HIT HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダモジュールが石英ガラスの側面研削加工に使用されました)
石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用)におけるHITの目標
HITの新製品である超音波研削砥石ツールホルダと超音波支援加工技術の支援により、加工効率と材料除去率の向上を目指しながら、優れたワークピースの品質と安定した工具寿命を維持することが目標とされています。
超音波加工石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用)の結果
石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用):加工効率

(図2. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、ワークピースの品質が目に見えて改善されました)

(図 3. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、送り速度を2倍に引き上げることで、材料除去率が2倍向上しました)
- 石英ガラスの側面研削プロセスをHIT超音波モジュールで最適化するために、高周波マイクロバイブレーションが研削力の低減に役立ちました。HIT超音波モジュールを元のパラメータで導入した後、ワークピースの品質が目に見えて改善されました。
- 安定したワークピース品質を前提に、送り速度を2倍に引き上げることができます。これにより、材料除去率(MRR、Material Removal Rate)が2倍に向上しました。

(図 4. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、安定したワークピース品質を前提に、全体的な加工効率が2倍向上します)
石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用):ワークピースの品質

(図 5. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、エッジクラックの平均サイズは均一で、超音波を使用しない場合よりも小さくなりました)
- 石英ガラスの側面研削プロセスをHIT超音波モジュールで最適化するために、高周波マイクロバイブレーションが研削力の低減に役立ちました。
- 2倍の効率 (F 7,000mm/min) で、エッジクラックのサイズは均一でした(超音波振動の振幅が安定)。同じパラメータの下で、エッジクラックの平均サイズは超音波を使用しない場合よりも約1.6倍小さくなりました。

(図 6. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、エッジクラックの平均サイズを減少させることができ、これによりワークピースの品質が1.6倍向上しました)
石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用):工具寿命

(図 7. HITの新製品HBT-40超音波研削砥石ツールホルダモジュールを使用することで、超音波を使用しない場合と比較して、工具摩耗を大幅に減少させることができました)
- 石英ガラスの側面研削プロセスをHIT超音波モジュールで最適化するために、高周波マイクロバイブレーションが研削力の低減に役立ちました。
- 2倍の効率 (F 7,000mm/min) で、ホイール表面は軽度の摩耗しか見られず、ワークピースの品質も安定していました。しかし、同じパラメータの下で、超音波なしではホイール表面が剥離し、鈍化していました。これにより、ワークピースの品質が不安定になり(エッジクラックのサイズが不均一)、問題が発生しました。
HIT超音波加工技術の石英ガラスの側面研削加工(D80-研削砥石ツールホルダ使用)の成果
(HIT HBT40 研削砥石ツールホルダを使用)
🕜 加工効率 - 2倍高い、材料除去率が2倍向上しました
📈 ワークピースの品質 - 1.6倍向上し
⚙️ 工具摩耗の大幅な削減