超音波加工ツールホルダ - 研削砥石シリーズ研削砥石ツールホルダ HBT-40

研削砥石シリーズ
♦ 半導体製造装置で使用されるリング状の部品（例：クォーツ/フォーカスリング、炭化ケイ素ウェーハキャリア/サセプター）の製造に特に適したCNC研削プロセスに適用
♦ 加工効率が2～3倍向上
♦ 材料除去率が3倍以上向上
♦ 両面拘束テーパー
♦ ねじロック式ツールインターフェース

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製品情報

【近日公開】HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダ

---- 半導体業界のサプライチェーンに進出するための秘密兵器として ----

🔹 半導体の高度材料の荒加工に最適。
🔹 全体の加工効率：2～3倍向上
🔹 材料除去率：3倍以上向上
🔹 生産コストとエネルギー消費の大幅削減。

【HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダ】予備試験からの利益分析

(図1. HIT HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダを使用して、石英ガラスの側面研削を行いました)

超音波補助による石英ガラスの側面研削：加工効率

(図2. HIT HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダを使用することで、ワークピースの品質を安定させた状態で、送り速度が2倍に向上し、全体の加工効率も2倍になりました)

超音波補助による石英ガラスの側面研削：ワークピースの品質

(図3. HIT HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダを使用することで、超音波を使用しない場合と比較して、エッジクラックのサイズが2倍の効率でも一貫していました)

超音波補助による石英ガラスの側面研削：工具の摩耗

(図4. HIT HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダを使用することで、超音波を使用しない場合と比較しても、2倍の効率で研削砥石の表面の摩耗がわずかでした)

【HBT-40 超音波研削砥石ツールホルダ】製品仕様

モデル	HBT40-W01-2010
動作周波数	20 ~ 32 kHz
最大主軸回転速度	24,000 rpm
工具インターフェース	ねじロック式
CTS（クーラントスルースピンドル）	70 bar

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