Halbleiter Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik

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Was macht Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik schwer zu bearbeiten?

Aluminiumoxid (Alumina, Al₂O₃), auch bekannt als Alumina, ist bekannt für seine gute Härte und Festigkeit, Verschleißfestigkeit usw. Im Allgemeinen gilt: Je höher die Reinheit, desto robuster sind die chemischen und elektrischen Eigenschaften.

Dieses Material besitzt zahlreiche ausgezeichnete mechanische und chemische Eigenschaften, die eine breite Palette industrieller Anwendungen ermöglichen. Zum Beispiel machen seine hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität es ideal für Schlüsselkomponenten in der Halbleiterverarbeitung, wie Wafer-Chucks und CMP-Platten.

Die Hauptschwierigkeiten bei der Bearbeitung von Aluminiumoxid liegen in seinen Materialeigenschaften, nämlich der hohen Härte und Sprödigkeit. Besonders beim Schleifen von Alumina-Keramik treten häufig Probleme auf, wie eine unzureichende Entfernung von Keramikpartikeln, starker Werkzeugverschleiß und ein extrem zeitaufwändiger Prozess.


 

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☑️ Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Bearbeitungsinformationen

 

	Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik: Bearbeitungsinformationen
Material	99.5% Aluminiumoxid (Al2O3) Keramik
Merkmale (Abmessungen)	- Außenrundschleifen: Φ51 ➡️ Φ30 x 10mm   - Innenbodenschleifen: Φ8 ➡️ Φ25 x 2mm   - Durchgangsbohrungsschleifen (4 Löcher): Φ7 x 17mm (Seitenverhältnis 2,4x)   *Größe des Werkstücks: Φ51 x 19mm (vorbohrtes zentrales Loch Φ8 x 19mm)
Werkzeughalter Ultraschall	HSKE40-R02-06
Werkzeug	#200 Φ5mm HIT-Ultrasonisches Galvanisch Gebundenes Diamant-Schleifwerkzeug
Bearbeitungsparameter	[Außenrundschleifen]   S 8.000min-1 _ F 200mm/min _ Ap 5mm _ Ae 0,03mm _ Ultraschallleistungspegel 100%     [Innenbodenschleifen]   S 8.000min-1 _ F 200mm/min _ Ap 1mm _ Ae 0,03mm _ Ultraschallleistungspegel 100%         [Durchgangsbohrungsschleifen]   S 8.000min-1 _ F 200mm/min _ Steigung 0,05mm _ Ultraschallleistungspegel 100%

 
 

【Neue Produkteinführung!  HIT-Ultrasonisches Galvanisch Gebundenes Diamant-Schleifwerkzeug】

 

• HIT hat ein maßgeschneidertes ultrasonisches galvanisch gebundenes Schleifwerkzeug mit exklusiver Rezeptur entwickelt.
• Perfekt abgestimmt auf das Ultraschall Bearbeitungs Modul von HIT.
• Maximieren Sie die Vorteile des CNC-Schleifprozesses mit Ultraschall.

(Bild 1. Produktspezifikation des neuen Produkts von HIT - Ultrasonisches Galvanisch Gebundenes Diamant-Schleifwerkzeug)



(Bild 2. Das neue Produkt von HIT - Ultrasonisches Galvanisch Gebundenes Diamant-Schleifwerkzeug ist geeignet für das Schleifen von Alumina-Keramik)



(Bild 3. Die Verwendung eines regulären galvanisch gebundenen Schleifwerkzeugs mit Ultraschall kann den Werkzeugverschleiß erheblich erhöhen)



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(Bild 1. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet)



(Bild 2. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet)



(Bild 3. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik - Außenrundschleifen verwendet)



(Bild 4. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik - Innenbodenschleifen verwendet)



(Bild 5. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik - Durchgangsbohrungsschleifen verwendet)



 

HITs Ziel beim Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik

Das Ziel ist es, das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik mit der HIT-Ultraschallunterstützten Bearbeitungstechnologie auf einer CNC-Maschine mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug durchzuführen. Es wird erwartet, die Bearbeitungseffizienz zu steigern und die Werkzeuglebensdauer zu verlängern, unter der Voraussetzung, dass die Werkstückqualität hervorragend bleibt.




 

Ergebnisse des Ultraschallunterstützten Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik

 

Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Bearbeitungseffizienz

(Bild 6. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet, und die Vorschubgeschwindigkeit konnte um das Doppelte erhöht werden)



(Bild 7. HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet, und die Bearbeitungseffizienz war doppelt so hoch)

 

• Mit HIT-Ultraschall und dem HIT-Ultrasonischen Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug ermöglichte die Hochfrequenz-Mikrovibration eine leichtere Entfernung von Keramikpartikeln (Materialreste) vom Schleifwerkzeug, was zur Reduzierung der Schleifkraft beitrug.
• Unter der Voraussetzung, dass die Werkstückqualität hervorragend bleibt, kann die Vorschubgeschwindigkeit im Vergleich zu der ohne Ultraschall um das Doppelte erhöht werden.
• Die gesamte Prozesszeit verkürzte sich von 8 Stunden auf 4 Stunden, was zu einer doppelt so hohen Bearbeitungseffizienz führte.

 

Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Werkstückqualität

(Bild 8. Das HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit dem HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet, und die Größe der Randrisse konnte um fast das Dreifache reduziert werden)



(Bild 9. Das HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit dem HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet, und die Werkstückqualität war fast dreimal besser)

 

• Mit HIT-Ultraschall und dem HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug ermöglichte die Hochfrequenz-Mikrovibration eine leichtere Entfernung von Keramikpartikeln.
• Die Reduktion der Schleifkraft und des Werkzeugverschleißes stabilisierte den gesamten Schleifprozess. Dies half, die Bildung von Randrissen einzudämmen.
• Die Werkstückqualität war somit fast dreimal besser als ohne Ultraschall.

 

Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Werkzeug Lebensdauer

(Bild 10. Das HIT HSK-E40 Ultraschall-Bearbeitungsmodul mit dem HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug wurde für das Profilschleifen von Aluminiumoxid-Keramik verwendet, was den Werkzeugverschleiß erheblich reduzierte)

 

• Mit HIT-Ultraschall und dem HIT-Ultrasonischem Galvanisch Gebundenem Diamant-Schleifwerkzeug ermöglichte die Hochfrequenz-Mikrovibration eine leichtere Entfernung von Keramikpartikeln.
• Sowohl die Seiten- als auch die Bodenbereiche des Schleifwerkzeugs hatten im Vergleich zu Werkzeugen ohne Ultraschall viel weniger Keramikpartikelansammlung, und das Werkzeug konnte nach der Bearbeitung eines keramischen Werkstücks weiterhin eingesetzt werden.
• Die erhebliche Verbesserung des Werkzeugverschleißes half, die Schleifkraft zu reduzieren. Dies trug nicht nur zu einer hervorragenden Werkstückqualität bei, sondern bot auch die Möglichkeit, die Bearbeitungseffizienz zu steigern.

 

Errungenschaften der HIT-Ultraschall Bearbeitungs Technologie im Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik

(mit HIT-Ultrasonischen Galvanisch Gebundenen Diamant-Schleifwerkzeug)

🕜 Bearbeitungseffizienz - 2-mal höher
📈 Werkstückqualität - Fast 3-mal besser
⚙️ Erhebliche Reduzierung des Werkzeug Verschleißes


 

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Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik: Branchenanwendung

Profilschleifen von Aluminiumoxid (Al₂O₃) Keramik wird häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt, insbesondere für keramische Elektrostatik-Chucks (ESC, E-Chucks), die elektrostatische Kräfte nutzen, um Wafer während des Schneideprozesses zu fixieren und Stabilität zu gewährleisten.


Dieses Material besitzt hervorragende mechanische und chemische Eigenschaften, die eine breite Palette industrieller Anwendungen ermöglichen. Zum Beispiel machen seine hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität es ideal für Schlüsselkomponenten in der Halbleiterverarbeitung, wie Wafer-Chucks und CMP-Platten.

Die Hauptschwierigkeiten bei der Bearbeitung von Aluminiumoxid (Alumina, Al₂O₃) liegen in seinen Materialeigenschaften, nämlich hoher Härte und Sprödigkeit.


Hier kommt das Ultraschall Bearbeitungs Modul von HIT ins Spiel! HIT bietet eine umfassende Lösung für die Bearbeitung fortschrittlicher Materialien. Mit der Unterstützung der Ultraschall Bearbeitungs Technologie von HIT und dem HIT-Ultrasonischen Galvanisch Gebundenen Diamant-Schleifwerkzeug müssen sich die Kunden keine Sorgen mehr um die Qualität der Werkstücke machen, während sie versuchen, die Prozesszeit zu verkürzen. Die Bearbeitungseffizienz kann erhöht werden, während der Werkzeugverschleiß erheblich reduziert wird. HIT versichert seinen Kunden nicht nur, ihre Anforderungen zu erfüllen, sondern auch, noch bessere Ergebnisse zu erzielen!




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